公司2021年三季度业绩情况：
半导体设备是集成电路和泛半导体微观器件产业的基石，而集成电路和泛半导体微观器件，又是数码时代的基础。随着微观器件越做越小，半导体设备，特别是关键设备等离子体刻蚀设备、薄膜设备和光刻设备的极端重要性更加凸显出来。
公司主要为集成电路、LED外延片、功率器件、MEMS等半导体产品的制造企业提供刻蚀设备、MOCVD设备及其他设备。公司的等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及其他先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线。公司MOCVD设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产，公司已成为世界排名前列的氮化镓基LED设备制造商。
公司2021年前三季度实现营业收入20.74亿元，同比增长40.4%；实现归属于上市公司股东的净利润5.42亿元，同比增长95.7%。前三季度刻蚀设备销售额13.52亿元，同比增长99.0%；由于LED市场下行，前三季度MOCVD设备销售额3.04亿元，同比下降24.3%。2021年1-9月新签订单金额达35.2亿元，同比增长超过110%。刻蚀机市场持续高涨，MOCVD市场正在迎来新的高潮。公司在刻蚀设备和MOCVD等设备产品研发、市场布局、新业务拓展等诸多方面取得了较好的进展，为公司持续健康发展提供了有力支撑。
公司将继续瞄准世界科技前沿，持续践行三维发展战略，深耕集成电路关键设备领域、扩展在泛半导体关键设备领域应用并探索其他新兴领域的机会，推进实现高速、稳定、安全发展。
问答环节主要内容：
1、中微公司目前的产品毛利情况？
答：公司2021年前三季度整体毛利率42.7%，和2020年前三季度的34.8%相比，增长了7.9个百分点；其中，刻蚀设备的毛利率为44.0%，MOCVD毛利率增加14个百分点至32.2%
2、请问2021年三季度新签订单中，产品的分布情况？
答：上半年新签订单中以刻蚀产品为主，2021年第三季度签署了部分批量MOCVD订单。
3、目前零部件紧张的情况下，刻蚀设备交付期是否有变化？
答：公司科学管理供应厂商，公司的半导体刻蚀产品、MOCVD设备近期基本按计划交付。
4、LED市场有什么变化导致MOCVD增速下降。很多led客户开启定增，中微判断未来led设备采购意愿如何？
答：目前MOCVD设备主要是用于氮化镓及砷化镓半导体材料外延生长，其中氮化镓基LED MOCVD主要用于生产氮化镓基LED的外延片，以通用照明为主要市场。近年来，LED的应用迅速扩大，除通用照明外，背光显示的蓝光LED、高端显示的Mini-LED和Micro-LED、用于杀菌消毒和空气净化的紫外LED、应用于电力电子的功率器件等领域对MOCVD设备的需求持续提升。
Mini-LED作为一种新兴技术备受关注。Mini-LED具有高亮度、精确的动态响应和高对比度等优势，能够显著提升显示品质。近年以来，Mini-LED在电视机领域取得了良好应用，在显示器、笔记本、平板等领域，Mini-LED产品也不断诞生并开始批量出货。
预计未来公司MOCVD设备的销售也将以Mini Led（背光领域）设备为主，目前公司已有部分Mini-LED MOCVD设备规模订单进入最后签署阶段。
5、公司目前的员工人数？
答：公司截止2021年9月底，员工人数993人，目前已超过1000人。
6、请问公司在薄膜设备方面的进展如何？是投资相关公司还是自己研发生产？
答：公司目前已经组建团队在开发LPCVD设备和EPI设备，研发进展按计划进行中，同时公司计划在适当时机通过投资、并购等外延式成长途径扩大产品和市场覆盖。
7、刻蚀机温度是不是影响刻蚀速度、均匀性，所以在不同刻蚀工艺中，需要的温度有差异？
答：温度是重要的指标，半导体制造工艺过程大部分是表面化学反应，反应气体均匀性、等离子体均匀性都会对刻蚀、薄膜等结果有很大的影响。温度均匀性的控制非常关键。目前公司设备产品应用精准的多区控温，能够实现不同区域温度的精确调节。
8、MOCVD业务在手订单情况不错。单季度来看，MOCVD毛利率提升幅度大的原因是什么？
答：新的产品型号Prismo UniMax™主要针对Mini-LED设计。产品性能、复杂性提高很多，提供更多的价值增量给用户，所以毛利率有明显增长。
9、公司南昌基地和临港基地建设进展怎么样了？
答：公司南昌基地和临港基地建设进展按照公司既定计划正常进行中。其中南昌基地目前厂内主要道路已施工完毕，各主要单位建筑均已封顶。临港产业化基地于2021年6月20日举行开工仪式，规划总建筑面积约18万平方米。
10、ICP\CCP的技术规划？
答：从刻蚀设备细分种类的市场规模来看，十年前CCP设备的市场占比约为60%，ICP的市场占比约为40%。根据当今的市场调研结果，ICP设备的市场占比已经超过CCP设备，占比约为60%。
ICP设备用在前道工序较多，CCP设备用在后道工序较多。由于中微公司率先开发并推向市场的是CCP设备，所以设备用在后道工序比较多。公司成功研发并推出了ICP设备，公司希望逐步全面覆盖芯片刻蚀工序。
11、展望200多层的3D NAND、以及逻辑器件新工艺对刻蚀技术及设备的影响？
答：刻蚀设备是工艺过程非常难的设备，每一种微观器件的设计都不一样，经粗略统计目前市场上7种典型器件大概有超过460个刻蚀步骤，每个步骤都需要开发不同的刻蚀设备。
1）微观器件越做越小，光刻机由于波长的限制，10nm以下的芯片加工需要薄膜设备和刻蚀设备组合完成加工。14nm芯片需要大约500-600个加工步骤，5nm芯片加工步骤提高到1000次以上，其中刻蚀的加工步骤增加三倍到约150-160次。相关工艺技术面临的挑战大，同时市场机会也非常多。
2）芯片层数越来越多、从2D结构到3D结构。其中刻蚀工艺最卡脖子的还是深孔深沟的刻蚀。市场上目前普遍使用的高深宽比刻蚀设备高深宽比大概是40:1到50:1，中微目前在实验室已经可以做出深宽比超过60:1的极高深宽比CCP介质刻蚀机，但设备的稳定重复使用还需要进一步努力提升。
12、公司在泛半导体行业拓展方面有何具体计划和进展吗？
答：公司从三个维度扩展业务布局：深耕集成电路关键设备领域、扩展在泛半导体关键设备领域应用并探索其他新兴领域的机会。在集成电路设备领域，公司将持续强化在刻蚀设备领域的竞争优势，并延伸到薄膜、检测等其他关键设备领域；公司计划扩展在泛半导体领域设备的应用，布局显示、MEMS、功率器件、太阳能领域的关键设备；公司拟探索其他新兴领域的机会，利用好设备及工艺技术，考虑从设备制造向器件大规模生产的机会，以及探索更多集成电路及泛半导体设备生产线相关环保设备及医疗健康智能设备等领域的市场机会。
附：活动信息表
| 投资者关系活动类别 | □特定对象调研 □分析师会议 □媒体采访 √业绩说明会 □新闻发布会 □路演活动 □现场参观 □其他（请文字说明其他活动内容） |
| 参与单位名称 | Azimut Investments Baring Asset Management （Asia） Limited Chicago Pacific Founders Credit Suisse Grandeur Peak Hony Fund JPMorgan Asset Management (China) Limited Lombard Odier MINDHAND CAPITAL PinPoint Point72 Asset Management LP Polymer Capital Power Corporation of Canada Schroder investment Tybourne Capital Management UBS Macquarie Group Limited（麦格理） 安聯证券投资信托股份有限公司 安麒资本 安信证券 安信证券股份有限公司 巴沃资产 百年保险资产管理 榜样投资 鲍尔太平有限公司 北京城天九投资 北京鼎萨投资 北京合正普惠投资管理有限公司 北京泓澄投资管理有限公司 北京凯读投资管理有限公司 北京泽铭投资有限公司 北京遵道资产管理有限公司 北信瑞丰基金 碧云资本 博道基金 博笃投资 渤海汇金 常亿资本 诚盛投资 诚业投资 承丰资产 创金合信基金 大岩资本 淡水泉投资 淡泰资本 道仁资产 道谊投资 德邦证券 德邦资管 砥俊资产管理中心（有限合伙） 东北证券 东财基金 东方证券 东方证券资产管理有限公司 东海证券 东吴证券 东兴证券 东亚前海 敦和资产管理有限公司 方圆基金 方正富邦基金 方正证券 丰琰投资管理（浙江自贸区）有限公司 佛山市东盈投资管理有限公司 复华投信 富安达基金 富达国际 富敦投资 富国基金 高盛 高通创投 歌斐资产 格林基金 工商银行 工银瑞信 观富资产 光大信托 光大证券 广东锦洋投资管理有限公司 广发证券 广发资管 广州瑞民投资 国都基金 国海富兰克林基金 国海证券 国华保险资管 国华人寿股份有限公司 国金证券 国君资管 国联安基金 国联证券 国盛证券 国寿安保基金 国寿养老 国泰产险 国泰君安证券股份有限公司 国投聚力投资管理有限公司 国投瑞银基金管理有限公司 国信海外 国信证券 海捷投资控股集团 海通国际 海通证券 海通资管 瀚伦投资 杭州德亚投资管理有限公司 浩成资产管理有限公司 恒大人寿保险有限公司 恒越基金 横琴人寿保险有限公司 弘盛资本 弘毅投资 红杉资本 红塔证券资管 泓德基金 洪运瑞恒 花旗证券 华安财保资管 华安证券 华创证券 华福证券 华富基金 华融基金管理有限公司 华泰柏瑞基金 华泰保兴基金 华泰金融控股有限公司 华泰证券 华泰资管 华西证券 华夏银行 汇丰前海证券 混沌天成资管 嘉实基金 建信基金 建银国际 江苏汇鸿汇升投资管理有限公司 江苏瑞华投资控股集团 江苏省兆信资产管理有限公司 金信基金 金元顺安基金 景富投资 开源证券 凯曼资本 凯昇资本 瞰道资产管理 康曼德资本 乐瑞资产 瓴仁投资 聆泽投资 龙马资本 陆家嘴国泰人寿 路博迈投信 路博邁基金 马可波罗中国资产管理公司 民生加银基金 民生证券 明河投资 明世伙伴基金 明亚基金 摩根士丹利证券 南方基金 南华基金 农银理财 诺安基金 诺德基金 盘京投资 鹏华基金 鹏扬基金 平安银行 平安证券 平安资本 璞远资产 前海开源 前海联合基金 秦岭资本 青岛朋元资产管理有限公司 青骊投资 青鸟控股集团 人保资产 任君资本 瑞士信贷 瑞橡资本 瑞信香港 瑞信资产管理 瑞银证券 睿远基金管理有限公司 润邦投资 润晖投资 三井住友德思资产管理股份有限公司 三商美邦人寿保险 三星资产运用株式会社 厦门市石智投资管理有限公司 厦门益亨投资管理有限责任公司 善水源资产 上海博道基金 上海晟盟资产管理有限公司 上海从容投资管理有限公司 上海阜盈投资管理有限公司 上海恒复投资管理有限公司 上海洪朴信息科技有限公司 上海汇华理财有限公司 上海金恩投资有限公司 上海宁泉资产管理有限公司 上海泊通投资管理有限公司 上海浦东发展银行股份有限公司 上海仁布投资管理有限公司 上海申轩工程咨询有限公司 上海禧弘资产 上海弈慧投资管理有限公司 上海益昶资产管理有限公司 上海银叶投资有限公司 上海宇摩投资管理有限公司 上海肇万资产管理有限公司 上海执云投资管理有限公司 上海志奕投资管理有限公司 上海逐流资产管理有限公司 上海综艺控股有限公司 上投摩根基金 尚正基金管理有限公司 申万宏源证券 深圳河床投资管理有限公司 深圳玖稳资产管理有限公司 深圳龙腾资产 深圳睿泽资本 深圳尚善资产 深圳市兰权资本管理有限公司 深圳市老鹰投资管理有限公司 深圳市尚诚资产管理有限责任公司 深圳市万杉资本管理有限公司 深圳市微明恒远投资管理有限公司 深圳涌容资产管理公司 盛世投资 施罗德基金 石锋资产 拾贝投资 世诚投资 首创证券 顺领资产 四川端木投资有限公司 拓聚投资 拓璞基金 太和先机资产管理有限公司 太平资产管理有限公司 泰康资产管理（香港）有限公司 泰康资管 泰旸资产 天安人寿保险股份有限公司 天风证券 天隼投资 同犇投资 統一證券投資信託股份有限公司 万联证券 万杉资本 沃银德克资本 五地投资 五矿证券 西安瀑布资产管理有限公司 西部利得基金 西部证券 西藏合众易晟投资管理有限公司 西南证券 西南证券股份有限公司 汐泰投资 新华资产 信达证券 行健资产 兴业基金 兴业证券 幸福人寿保险股份有限公司（资管） 玄甲金融 亚太财产保险有限公司 亚太财险 壹拾资产 易方达基金 银河基金 银华基金 英大国际信托有限责任公司 盈峰资本 永安国富 涌津投资 由榕资产 于翼资产 裕晋投资 源乘投资 远洋资本 遠雄人壽 云杉投资 长城基金 长城证券 长江养老保险 长江证券 长盛基金 长信基金 招商基金 招商证券 浙江淳毅资产管理有限公司 浙江锦和投资管理有限公司 浙江韶夏投资管理有限公司 证信资本 中国人寿 中国人寿资产 中国银河证券股份有限公司 中华联合保险集团 中加基金管理有限公司 中金公司 中民投资本 中融汇信期货有限公司 中泰证券投资部 中信保诚基金 中信建投 中信建投基金管理有限公司 中信证券 中意资产 中银国际 中银基金 中银三星人寿 中银证券 中银资管 中邮创业基金管理股份有限公司 中再资产 钟港资本 重庆博永投资管理有限公司 珠海市横琴淳瀚私募证券基金管理有限公司 |
| 时间 | 2021年10月 |
| 地点 | 中微公司、互联网端 |
| 公司接待人员姓名 | 董事长兼总经理：尹志尧 财务负责人兼副总经理：陈伟文 副总裁兼董事会秘书：刘晓宇 证券事务代表：胡潇 财务部副总监：庄宇峰 董事会办公室经理：周菡清 |
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